中芯世界仅有的极紫外光刻机跳票国产高端芯片恐被荷兰拖后腿

即便是有来自美国五湖四海的刁难，我国芯的进程仍是排除万难地朝前跨进，日前台积电顶住了来自美方的压力，继续为华为代工，Arm 也着重会继续供给华为新一代 V9 架构技能，可是，日前又有一道应战关卡突如其来。

外媒发表，欧洲最大设备商，一起也是全球光刻机龙头荷商 ASML 由于出口答应（export license）没有取得荷兰政府的核准和发放，导致要害机台极紫外光刻机（EUV）无法按期交货给我国客户。

ASML 着重是天公地道对待全球客户，但此问题卡在法令程序上，现在尚在等候出口答应的核准。

(图：ASML 官网)

芯片制作的命脉：光刻机

ASML 是全球仅有能够供给 EUV 光刻机的半导体设备大商，EUV 光刻机主要是用在 7nm 以下工艺，一台要价一亿欧元，ASML 一年也顶多出产约 20 台，客户若有需求，要提早 1~2 年来预订，而现在台积电与三星都现已导入 EUV 光刻机来完成 7nm 工艺芯片的量产。

由于 EUV 光刻机牵涉到全球最高端工艺芯片技能的出产，ASML 在向我国出口这类设备之前，需求拿到政府发放的出口执照和核准。

ASML 针对 EUV 这类设备机台的出口执照，需求定时更新和延伸，公司在 2019 年 7 月之前，已提早提出申请，但出口执照一向未发放下来，因而被动地无法将 EUV 机台出货给我国客户，但 ASML 着重，无法泄漏客户下单和交货的详细时程。

（图：DeepTech）

中芯的高端技能布局是否受影响？

EUV 光刻机是否可按期交货，牵涉到中芯世界在高端工艺技能的布局与时程。

中芯世界在投资人会议上现已发表高端技能的“三支箭”，分别为 14nm FinFET 工艺技能进入危险试产、12nm 工艺技能有客户进行流片，以及关于第二代 FinFET 技能 N+1 工艺的布局。

业界以为，中芯在 14nm 和12nm工艺节点上还用不到 EUV，2018 年下单预订 EUV光刻机是为了 N+1 工艺做准备，一般来说，这个工艺节点应该是 7nm 左右，但中芯并未发表第二代的 FinFET 技能是否界说在 7nm，也有很大的或许是 8nm，但这都仅仅命名问题了。

半导体的微缩道路曩昔遵从摩尔规律，每一代工艺线宽会较上一代缩小 0.7 倍，因而从 90nm、65nm、45nm、32nm 都是遵从此规律的逻辑，但这样的脚步在 20nm 以下打破，摩尔规律放缓后，线宽微缩也无法像曾经相同，台积电和三星开端分裂为 16nm 和 14nm，之后的工艺命名现已沦为宣扬和营销战。

中芯在高端工艺上是强烈追逐，一方面担负国内高端制作的任务，另一方面，其竞争对手现已“打到家门口”，台积电在南京建立的 12 寸厂能够出产 16nm 和 12nm 技能，使得中芯有必要更活跃投入在高端技能的研发上。

美方施压，也成为供给链的忧虑

美国自 2018 年以来，针对我国一些要害企业和技能不断祭出禁令。

2018 年 4 月，中兴通讯被制止收购美国的零组件和软件，紧接着 11 月，国内 DRAM 厂商福建晋华被美国一纸禁令掐熄了正要进入出产的 DRAM 芯片火苗。

到了 2019 年 5 月，美国把方针瞄准 5G 技能超前的华为，约束美国零组件供给商、 Google、Arm 等暂停对华为供给技能。

一向保持对华为代工芯片的台积电，尽管挺下来了，但之后是纷扰不断，包含台积电或许碍于美方压力下，快速与竞争对手 GlobalFoundries 达到十年专利相互授权的宽和官司。

（图：DeepTech）

近期，美国不断释放出期望台积电到美国设厂的信息，由于许多国防用芯片曩昔是 IBM 出产，现在 GlobalFoundries 接手 IBM 资产后，无法继续 7nm 以下到高端技能，美国以国防安全为由，一向要台积电赴美设厂。

台积电知道这场“邀约”的两难和灵敏之处，赴美建立晶圆厂是不符合本钱考量的，加上台积电长于办理会集出产，不擅远端办理，天然不会想去。

可是，未来若继续帮华为代工芯片，来自美方的压力必然不会连续，尽管台积电暂时以本钱为由回绝“邀约”，但业界人士调查，未来台积电赴美设厂的几率仍是有的，终究这是一个对当时形势的退让之道，无法从商业利益来衡量。

设备和资料被卡住脖子

在美国对华为下重手之后，业界十分忧虑半导体机台设备和资料，会成为下一个被制裁的环节。

即便国内已有中微半导体、北方华创等设备供给商，但半导体机台和资料的精细和专业分工的程度，短时间内不或许达到 100% 国产化方针，尤其是 EUV 光刻机，全球竟然只剩下 ASML 一家有才能出产。

这次 ASML 无法又被逼地无法按期出货 EUV 机台给中芯，要害是在荷兰政府的出口同意上， 终究傍边的考虑为何？是碍于美国“私自出手”，仍是另有隐情？业界都在探寻。

假如 ASML 的 EUV 机台一向无法取得进入我国的同意和审阅，这恐怕是继华为禁令之后，国内科技产业的另一波“巨浪”来袭。

假如连欧洲设备商的商业行为都受到政治干涉，那未来美商、日商等设备大厂是否也会面对相同的情况。

可是，日前美国商务部长才释出中美可望在 11 月达到第一阶段的交易协议，而且估计“很短期内”将宣布美国企业出售零组件给华为的出口答应，看似两边联系将进入好的方向开展。

但一起，美国又不断找台积电“喝咖啡”力邀赴美设厂，而台积电的制作力挺，恰巧是华为的要害命脉。

另一方面又发作 ASML 的要害 EUV 机台无法进入我国的问题，这又紧系着中芯世界的高端工艺技能开展进程，这让人关于当时的形势有着水中望月，既等待严重联系松绑，但又怕预期失败的对立心境。

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